SK 海力士宣布引进业界首款量产型 High NA EUV 设备 EXE:5200B

SK 海力士宣布将业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机（High NA EUV）引入韩国利川工厂，该设备由荷兰 ASML 公司制造，型号为 TWINSCAN EXE:5200B，具备更高的数值孔径（NA 0.55），可显著提升电路图案绘制的精密度和芯片集成度。