英特尔完成首台商用高数值孔径 EUV 光刻机组装

英特尔宣布其代工厂已组装完成业界首台商用高数值孔径极紫外光刻机，该设备由阿斯麦公司与英特尔合作开发，重达 165 吨，目前正在进行最后的校准。