中芯国际据报在测试中国首款国产 DUV 光刻机

两位知情人士透露，中芯国际正在测试上海初创公司宇量昇制造的采用浸没式技术的深紫外光刻机，类似阿斯麦技术，试验初步结果令人鼓舞，但尚不清楚该机器能否及何时用于大规模芯片生产。