中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术

中国科学院研究人员成功开发出一种紧凑型固态深紫外激光系统，可产生 193 nm 相干光。该系统通过四次谐波和频率混合技术，生成平均功率为 70 mW 的 193 nm 激光，并首次实现固态激光中 193 nm 涡旋光束的产生。此成果对半导体光刻、晶圆加工及缺陷检测具有重要意义。