广东：大力推动刻蚀机等光芯片关键装备研发和国产化替代

广东省发布《广东省加快推动光芯片产业创新发展行动方案 (2024—2030 年)》，重点推进光芯片关键装备的研发和制造，包括刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网络测试仪等，并推动这些设备的国产化替代。同时，计划落实工业设备更新改造政策，加快光芯片关键设备的更新升级。