广东:大力推动刻蚀机等光芯片关键装备研发和国产化替代
2024 年 10 月 21 日

广东省发布《广东省加快推动光芯片产业创新发展行动方案 (2024—2030 年)》,重点推进光芯片关键装备的研发和制造,包括刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网络测试仪等,并推动这些设备的国产化替代。同时,计划落实工业设备更新改造政策,加快光芯片关键设备的更新升级。

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